外型小巧、低成本、高速沖程的氣動風(fēng)囊泵
● 高速沖程
提升泵的沖程速度 (達240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動。
● 無污染設(shè)計
過流端零件均采用氟樹脂材質(zhì),沒有金屬零件外露的設(shè)計,外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用的軸封 (已申請),能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。
● 液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力
液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C,吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時適用于化學(xué)液體供藥。
● 易于維護
更換開關(guān)無需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機時間。
● 傳感器驅(qū)動系統(tǒng)
內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。