低脈動(dòng)氣動(dòng)風(fēng)囊泵
● 低脈動(dòng)
的系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)制,確保氣囊運(yùn)動(dòng)效果,將脈動(dòng)減到。
● 減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下,減少高達(dá)30%的壓縮空氣消耗量。
● 高持續(xù)壓力
的氣囊運(yùn)動(dòng),有效提高壓力的承受能力,以維持穩(wěn)定的流量和負(fù)載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中。
● 無需阻尼器
泵的運(yùn)作無需使用阻尼器,節(jié)省設(shè)備空間及安裝費(fèi)用,例如氟塑料接管等。整體設(shè)備的重量/尺寸得以最小化。