適用于各類供藥系統(tǒng),吐出量達(dá)100L/min
● 高速?zèng)_程
高速?zèng)_程 (FS-80N達(dá)200 spm),讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低,可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
● 無(wú)污染設(shè)計(jì)
過(guò)流端采用氟樹(shù)脂無(wú)污染構(gòu)造,使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng))。
高流量及高吐出壓力
吐出量高達(dá)0.7MPa,不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求,同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
● 傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。