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偉世德測(cè)控技術(shù)(天津)有限公司


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VF1110模擬型

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模擬型氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)量程:5sccm~3000slm(N2當(dāng)量)精度:±1

詳細(xì)介紹



模擬型氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù)

量程: 5sccm3000slm(N2當(dāng)量)

精度: ±1.0%F.S

量程比: 50: 1 (流量控制器) 100: 1 (流量計(jì))

重復(fù)精度: ±0.2%F.S

線性精度: ±0.5%F.S

環(huán)境溫度: 545°C

溫度系數(shù):<±0.1%F.S/°C

壓力系數(shù):<±0.5%bar

泄漏率: <2* 10-8satm. ml/S

耐壓: 3MPa (流量小于30slm 可選6MPa)

供電: +1524vdc

模擬信號(hào):05vdc 420mA

連接方式:卡套式連接或VCR連接

(連接尺寸根據(jù)客戶需求而定)

關(guān)鍵詞:控制器
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