模數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù)
量程： 5sccm～3000slm(N2當(dāng)量）
精度： ±1.0%F.S
呈程比： 50: 1 (流呈控制器） 100: 1 (流呈計(jì)）
重復(fù)精度： ±0.2%F.S
線性精度： ±0.5%F.S
環(huán)境溫度： 5～45°C
溫度系數(shù)：＜±0.1 % F. S/℃
壓力系數(shù)：＜±0.5%bar
泄漏率： <2*10-8atm .ml/S
耐壓： 3MPa (流量小千30slm 可選6MPa)
供電： +15～24vdc
模擬信號： 0～5vdc 或4～20mA
數(shù)字信號： RS232、 RS485(Modbus-RTU)
連接方式：卡套式連接或VCR連接
（連接尺寸根據(jù)客戶需求而定）
