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技術(shù)文章

愛德華EH4200 EH2600羅茨泵維修與保養(yǎng) 技術(shù)參數(shù)

點(diǎn)擊次數(shù):5544 發(fā)布時(shí)間:2015-1-8

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  機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
  
  應(yīng)用
  
  半導(dǎo)體制程
  
  真空蒸餾
  
  真空包裝
  
  鋼脫氣
  
  薄膜覆層
  
  真空冶金
  
  低密度風(fēng)洞
  
  空間模擬
  
  真空浸漬
  
  油干燥和脫氣
  
  制藥冷凍干燥
  
  CO2激光
  
  功能和優(yōu)勢
  
  適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
  
  它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
  
  EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
  
  安靜的無振動運(yùn)行。
  
  牢靠且防腐蝕。
  
  *的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
  
  防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
  
  經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到zui低。
  
  軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要zui高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
  
  動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
  
  技術(shù)數(shù)據(jù)
  
  型號EH250EH500EH1200EH2600EH4200
  
  排量(工作容積)310m3h-1/185ft3min-1505m3h-1/300ft3min-11195m3h-1/715ft3min-12590m3h-1/1525ft3min-14140m3h-1/2440ft3min-1
  
  使用前級泵時(shí)的有效抽速240m3h-1/141ft3min-1350m3h-1/206ft3min-1840m3h-1/495ft3min-11750m3h-1/1031ft3min-13100m3h-1/1825ft3min-1
  
  泵的壓力差0-180mbar/0-140Torr0-110mbar/0-83Torr0-90mbar/0-68Torr0-80mbar/0-60Torr0-60mbar/0-45Torr
  
  進(jìn)氣口連接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
  
  出口連接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
  
  轉(zhuǎn)速0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm
  
  連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr
  
  zui大出口壓力1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr
  
  推薦的前級泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80,E2M80GV160、GV250、
  
  E2M80、E2M175GV250、GV400、
  
  E2M175、E2M275GV400、E2M275
  
  電機(jī)功率
  
  碳?xì)浠衔?.2kW/3hp2.2kW/3hp3kW/4hp11kW/15hp11kW/15hp
  
  PFPE1.5kW/2hp1.5kW/2hp3kW/4hp7.5kW/10hp11kW/15hp
  
  ATEX2.2kW2.2kW3kW11kW11kW
  
  防爆3hp3hp4hp15hp15hp
  
  環(huán)境溫度范圍
  
  工作5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F
  
  存儲-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F
  
  zui大工作濕度90%RH90%RH90%RH90%RH90%RH
  
  推薦用油Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20
  
  油容量
  
  齒輪箱1.25l/1.3qt3.5l/3.3qt3.5l/3.3qt
  
  聯(lián)軸器蓋1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt6.5l/7qt6.5l/7qt
  
  軸封儲油器0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt1.5l/1.4qt1.5l/1.4qt
  
  重量61kg/134lb74kg/163lb74kg/163lb308kg/679lb

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